Новости
Заменить зарубежные аналоги и улучшить метрологическое обеспечение РФА-анализаторов в части измерений толщины двухслойных покрытий на предприятиях различных отраслей промышленности, таких как микроэлектроника, оптика и машиностроение. Такое назначение у разработанных уральским филиалом ВНИИМ им.Д.И.Менделеева (Росстандарт) стандартных образцов поверхностной плотности и толщины золотого покрытия с подслоем никеля на стали (набор СО УНИИМ З/Н/С).
Стандартные образцы предназначены для метрологического обеспечения рентгенофлуоресцентных анализаторов (РФА) в части измерений толщины двухслойных покрытий.
"Рентгенофлуоресцентный метод - один из самых распространенных неразрушающих методов для быстрого количественного определения элементного состава материалов и измерений толщины покрытий. РФА является относительным и заключается в измерении спектра вторичного рентгеновского излучения, интенсивность которого зависит от элементного состава различных слоев образца и их толщины. Для построения точных калибровочных зависимостей требуется номенклатура СО поверхностной плотности и толщины различного состава с аттестованными значениями толщины верхнего слоя и подслоя в широком диапазоне", - пояснили в лаборатории метрологии термометрии и поверхностной плотности филиала.
Набор СО УНИИМ З/Н/С внесен в реестр утвержденных типов стандартных образцов под номерами ГСО 13172-2026/ГСО 13176-2026 с аттестованными значениями толщины золотого покрытия в диапазоне (0,3-5,0) мкм с относительной погрешностью ±2,5%, никелевого подслоя в диапазоне (2,0-5,5) мкм с относительной погрешностью ±4,5%.
Стандартные образцы представляют собой диски диаметром (25,0±0,1) мм или (30,0±0,1) мм и высотой (10,0±0,1) мм из стали марки 40X13 по ГОСТ 5949-2018. Золотое покрытие из сплава золото-никель (с массовой долей золота не менее 99,9% и никеля не более 0,1%) и никелевое покрытие из никеля марки НПА1 по ГОСТ 492-2006 нанесены способом катодного восстановления по ГОСТ 9.305-84.
Для новых стандартных образцов характерны улучшенные характеристики в сравнении с ранее утвержденными типами (например, ГСО 11650-2020): меньшие значения стандартной неопределенности, обусловленной неоднородностью и, соответственно, меньшей расширенной неопределенностью аттестованного значения.
Это стало возможно благодаря:
- усовершенствованной технологии финишной обработки стального основания в части полировки и уменьшения отклонения от плоскостности;
- оптимизации геометрии гальванической ванны и вращению образца во время погружения для удаления пузырьков воздуха и обеспечения равномерного смачивания.
Аттестованные значения разработанных СО установлены с помощью Государственного первичного эталона единиц поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях ГЭТ 168-2015. Послойное измерение поверхностной плотности покрытия проводилось с помощью эталонов сравнения из состава ГЭТ 168-2015 в соответствии с МВ-07-ГЭТ-168-2015 "ГСИ. Методика воспроизведения и передачи единиц поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях на ГЭТ 168".
Источник:
